熱蒸鍍機／Thermal Evaporator

公告：2023/7/30  機台正常使用中

二、儀器設備說明

• 儀器型號：熱蒸鍍機 (高敦科技)
• 儀器名稱：Thermal Evaporator
• 購置日期：111 年 12 月
• 儀器放置地點：成功大學科技大樓五樓9090室

 

三、儀器簡介

真空蒸鍍是在高真空條件下(10^-5 to 10^-7 torr)，將置於坩堝內金屬或合金材料等被蒸鍍材料利用電阻或電子束加熱，達到蒸鍍材料熔化溫度後形成液態直至汽化，使原子蒸發到達並附著在基板表面而形成金屬或複合薄膜的鍍膜技術。

• 本中心蒸鍍機特色：

1. 主要蒸鍍材料以鋰金屬為主，搭配可耐高溫、化學穩定性高的鉭坩堝盛裝鋰錠並使用電阻器加熱進行蒸鍍。
2. 應用具壓電效應原理的石英震盪片偵測即時膜厚：在石英震盪晶體加入交流電，使晶體產生機械振動而產生共振特性。
3. 使用膜厚計需視基板材料進行TOOLING FACTOR校正，即在鍍完膜後須取出試片使用精密儀器量測膜厚，藉由調整TOOLING FACTOR進行調校。

    

四、服務項目

1. 鋰蒸鍍
2. 鋁、銅蒸鍍需與管理者討論後另行安排

 

五、試片準備注意事項

• 試片載台為6吋Si晶圓基板，試片需黏置於Si晶圓基板上，試片大小不可大於6吋且厚度不可高於1mm，避免機械手臂傳送時沾黏試片。
• 本中心乾燥室可進行試片準備。
• 本中心手套箱可進行試片準備。

 

六、機台開放時間

1. 全時段開放
2. 有委託操作需求者請直接聯繫機台負責人，以進行實驗安排。

 

七、預約注意事項

• 經中心管理員認證後，可上儀器預約系統連結1註冊帳號，自行預約儀器使用時段。

 

八、收費資訊

• 繳款方式：校內以計畫轉帳為主；校外請透過網路收款平台進行繳費https://reurl.cc/Q3mbl0。
• 若逾期兩週未繳費，會再次提醒使用者及指導教授，如仍無法繳費，則將暫停貴老師全實驗室人員進入使用權限。

 

九、委託操作

• 有委託操作需求者，請先聯繫設備管理員王純敏博士，以討論蒸鍍相關細節。
• 委託操作請填寫『委託操作服務申請表』下載4，請送至本中心辦公室設備管理員，或掃描後 email至nckuhigemlab@gmail.com，本中心會安排代工時間。
• 操作時間：待收到樣品後即會進行製程安排，鋰蒸鍍需要大約2~3個工作天完成。鋁、銅蒸鍍需另行安排時程。

 

十、自行操作機台教育訓練相關規定

• 訓練方式：基礎原理及訓練(6hrs)、實作(5hrs)、認證(2hrs)，費用如第八點。
• 需填寫『儀器設備訓練課程申請表』下載3交付本中心後，經認證合格者，並簽署『國立成功大學跨維綠能材料研究中心儀器使用承諾書』下載2才能自行操作。
• 使用者權限：
• A 級：須接受中心訓練、實作、認證課程，並取得認證以及達100小時使用時數，經由經設備管理者認可，即可成為A級使用者。可自行操作儀器並負責儀器訓練課程、委託服務工作以及維護儀器設備功能性，具有使用儀器設備之最高權限。
• B 級：須接受中心訓練、實作、認證課程，並取得認證。可自行操作儀器。